小 角 散 乱

 

小角散乱で粒子サイズや膜厚がわかります

 

 小角散乱は、試料からの極低角度の散乱X線を計測することにより、膜厚や粒子径などのナノメートルオーダーの情報を知ることができます。
 MIRRORCLE-CVシリーズを光源とする装置では、ターゲットを交換することにより、任意の特性X線を利用することができます。

 

分析例 : 

Moターゲット:Mo-Kα線 (17.48 keV) を利用して
(左)アルミ蒸着膜(78.2 nm)の反射率測定
(右)シリコンの反射率測定結果 

 

reflectance

 

 

分析例 : 金の微小粒子の粒径測定

 

 

 

 

 

分析装置 : 小角散乱ビームライン

 

 

 

光源 MIRRORCLE-CV1
X線エネルギー 10〜25keV

測定方法

 

角度分散 または

エネルギー分散

光学系 3スリット光学系
試料形態(膜厚測定) キバンへの蒸着膜など
試料形態(粒度) 粉末
試料サイズ 要相談
測定範囲 数十nm〜数百nm

 

 

 

 

 

 

 

 


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