サブミクロンX線顕微CT

 

サブミクロンX線顕微CTを開発中です

 

従来装置で２時間かかる撮影を１０分で実施できるようになります。現在解像度5μmを達成しました。

 

 

 

開発中の分析装置　：　20倍拡大サブミクロンX線CT装置

 

 

　　 　 　　

　　　　　　　　　ターゲット

 

光源	MIRRORCLE-400
Ｘ線エネルギー	10〜100keV
検出器	X線ラインセンサ
試料サイズ	数cm以下
分解能	1μm未満

 

 

 

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