サ ブ ミ ク ロ ン X 線 顕 微 C T

 

サブミクロンX線顕微CTを開発中です

 

従来装置で2時間かかる撮影を10分で実施できるようになります。現在解像度5μmを達成しました。

 

 

 

開発中の分析装置 : 20倍拡大サブミクロンX線CT装置

 

 

       

         ターゲット

 

光源 MIRRORCLE-400
X線エネルギー 10〜100keV
検出器 X線ラインセンサ
試料サイズ 数cm以下
分解能 1μm未満

 

 

 

 

 

 

 

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