機械部品や構造物などの残留応力をX線の回折現象を利用して計測します。
MIRRORCLEでは高エネルギーの白色X線を利用することができるので、深部まで非破壊で測定できます。
エネルギー分散方式で測定するため、複雑な形状のものでも測定可能です。
分析装置 :

| 光源 | MIRRORCLE-CV1 |
|
X線エネルギー |
10〜100keV |
| 光学系 | 平行光学系 |
| 検出器 | Ge半導体検出器 |
| 試料形状 | 任意 |
| X線ビーム径 | 500μm以下(※) |
| 測定領域 | 1cm以下(※) |
| 最大測定可能深さ | 鉄で1mm以下(※) |
| 深さ分解能 | 1μm以上(※) |
※測定条件による